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Sujets de thèse
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DRF : Sujet de thèse SL-DRF-17-0225

DOMAINE DE RECHERCHE
Interactions rayonnement-matière / Physique de l'état condensé, chimie et nanosciences
INTITULÉ DU SUJET Français English

Développement de la cartographie de déformation par imagerie cohérente des rayons X et application aux nano-structures de semi-conducteurs pour l’électronique

RÉSUMÉ DU SUJET

L’optimisation des performances des nano-structures de semi-conducteurs demande un contrôle précis des champs de déformation. Ce sujet de thèse est centré sur l’utilisation de la diffraction cohérente des rayons X, qui permet de reconstruire des objets uniques avec une résolution de l’ordre de 5 à 10 nm. Les objectifs principaux sont :

- Le développement de l’imagerie cohérente pour la cartographie de déformation, en tenant compte de toutes les caractéristiques du faisceau X focalisé

- L’étude quantitative d’objets, même dans le cas où ils sont non-isolés

- L’application à des nano-structures contraintes Si-Ge ultra-minces, développées en collaboration par le CEA-LETI et ST Micro-electronics.

Ce sujet est co-financé par le synchrotron Européen ESRF, en prévision de la mise à jour de l’anneau synchrotron, qui permettra en 2019 un flux cohérent de rayons X 100 fois plus intense.

FORMATION NIVEAU MASTER RECOMMANDÉ

Physique du solide, rayonnement, capacité en programmation

INFORMATIONS PRATIQUES
Institut nanosciences et cryogénie
Modélisation et Exploration des Matériaux
Laboratoire Nanostructures et Rayonnement Synchrotron
Centre : Grenoble
Date souhaitée pour le début de la thèse : 01/10/2017
PERSONNE À CONTACTER PAR LE CANDIDAT

Joël EYMERY  

CEA
DRF/INAC/MEM/NRS
Head of CEA "Nanostructures and Synchrotron Radiation” Laboratory
Grenoble Alpes University, INAC-MEM-NRS, 38054 Grenoble, France.

Téléphone : +33 4 38 78 30 15

UNIVERSITÉ / ÉCOLE DOCTORALE
Université Grenoble Alpes
Ecole Doctorale de Physique de Grenoble
DIRECTEUR DE THÈSE

Vincent FAVRE-NICOLIN

ESRF-The European Synchrotron
ESRF
ESRF-The European Synchrotron
X-Ray NanoProbe (XNP) group
71, Avenue des Martyrs
Grenoble, France