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Sujets de thèse
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DRT : Sujet de thèse SL-DRT-20-0750

DOMAINE DE RECHERCHE
Nano-caractérisation avancée / Défis technologiques
INTITULÉ DU SUJET Français English

Etude par spectroscopie de photoélectrons haute-énergie d’interfaces critiques enterrées pour technologies avancées d’imageurs

RÉSUMÉ DU SUJET

La mise au point de technologies avancées génériques, comme les imageurs ou les mémoires, requiert une compréhension fine du comportement d’interfaces critiques pour le fonctionnement des dispositifs électroniques en jeu. Dans cette perspective, la mise en œuvre de méthodes de nano-caractérisation en rupture est d’une importance capitale. Dans ce sujet, nous adressons l’application d’une nouvelle technique de photoémission par rayons X durs (HAXPES : HArd X-ray Photoelectron Spectroscopy) utilisant pour la première fois dans ce champ d’étude une source de laboratoire produisant la radiation Ka du Chrome, dans un spectromètre de dernière génération récemment installé sur la Plate-Forme de Nanocaractérisation de Minatec, CEA-Grenoble. L’HAXPES pallie à une limitation importante de la photoémission conventionnelle en augmentant la profondeur sondée, permettant d’accéder de manière non destructive aux interfaces enterrées critiques, situées typiquement à des profondeurs de 20 à 50 nm sous une électrode. La thèse sera organisée en deux volets : un premier volet sera dédié à la caractérisation des états chimiques des interfaces profondes dans les empilements technologiques d’imageurs et autres technologies génériques développées à ST Microelectronics. Un second aspect traitera des aspects électriques et propriétés électroniques de ces interfaces et plus particulièrement des décalages de bandes de valences.

FORMATION NIVEAU MASTER RECOMMANDÉ

Master 2 Matière Condensée Matériaux

INFORMATIONS PRATIQUES
Département des Plateformes Technologiques (LETI)
Service de Métrologie et de Caractérisation Physique
Laboratoire Analyses de Surfaces et Interfaces
Centre : Grenoble
Date souhaitée pour le début de la thèse : 01/10/2020
PERSONNE À CONTACTER PAR LE CANDIDAT

Olivier RENAULT  

CEA
DRT/DTSI/SMCP/LASI
17 rue des Martyrs
38054 Grenoble Cedex 9

Téléphone : +33 4 38 78 96 48

UNIVERSITÉ / ÉCOLE DOCTORALE
Autre
Carnot - Pasteur
DIRECTEUR DE THÈSE

Bruno DOMENICHINI

Université Bourgogne-Franche Comté (UBFC)
ICB UMR 6303 CNRS-UBFC
9, avenue Alain Savary
BP 47870
21078 Dijon Cedex