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841 Caracterisation Couches Minces Par RayonsX
En résumé

2017

4 jours (24 heures)
Grenoble
  • 27-30 mars 2017

Caractérisation des couches minces par rayons X

Code référence : 841
OBJECTIFS
  • Connaître les principes physiques associés aux techniques de diffraction des rayons X et de réflectométrie.
  • Appréhender les spécificités des mesures sur films minces en diffraction des rayons X en incidence rasante coplanaire (films minces polycristallins) et en réflectométrie X.
  • Acquérir une première expérience pratique permettant de choisir les conditions opératoires les mieux adaptées au matériau étudié.
  • Savoir traiter et interpréter les données expérimentales.

PUBLIC
Ingénieurs, chercheurs ou techniciens supérieurs de laboratoires publics ou industriels travaillant dans le domaine des matériaux.
Public débutant ou ayant une faible expérience dans le domaine de la caractérisation des couches minces par rayons X.
PRÉ-REQUIS
Connaissances de base sur la structure de la matière (Niv. Bac +2). Même si les principes de base sont rappelés lors du stage, une connaissance préalable, voire une pratique de la diffraction des rayons X sur poudre sont un plus pour les bienfaits de la formation.
CONTENU

Diffraction X en incidence rasante coplanaire

  • Rappels de cristallographie et de radiocristallographie.
  • Rappels sur l'analyse de phase.
  • Diffraction des rayons X en incidence rasante.
  • Montage faisceau parallèle / Montage Bragg-Brentano
  • Spécificités de la diffraction des rayons X en incidence rasante : profondeur de pénétration, analyse des contraintes mécaniques et impact sur l'analyse de structure.
  • Le cas de la diffraction x en incidence rasante non coplanaire - dite "in plane" sera abordée succinctement.

Réflectométrie X

  • Principe et intérêts de la réflectométrie X aux petits angles.
  • Diffusion spéculaire : les relations fondamentales de la réflectométrie X en mode spéculaire.
  • Mesures de densité, d'épaisseur et de rugosité : applications substrat/films minces/multicouches.
  • Choix des configurations expérimentales.
  • Une introduction à la diffusion des rayons X hors spéculaire sera proposée.
MÉTHODE
Exposés et travaux pratiques (procédures d'alignement, choix des conditions opératoires, traitement des données et interprétation).

Groupe limité à 8 participants.
COLLABORATION
Conseillers scientifiques : Patrice Gergaud (CEA/DRT/Leti), Stéphane Coindeau (Grenoble INP, CMTC/Simap). La formation est réalisée en collaboration avec le Consortium des moyens technologiques communs (CMTC).

Session 2017

PRIX PUBLIC

1800 €

DURÉE

4 jours (24 heures)

LIEU ET DATE
Grenoble
  • 27-30 mars 2017
COORDINATION

Responsable(s) pédagogique(s) :

Grenoble
  • Mme Chantal TARDIF
    chantal.tardif@cea.fr
    Tél. +33 4 38 78 93 83
CONTACT

Organisatrice(s) formation :

Grenoble
  • Mme Anne-Sophie BERTIN
    anne-sophie.bertin@cea.fr
    Tél. +33 4 38 78 48 65

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Session 2018

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