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Stripping process training: Plasma ashing, wet cleaning and wet stripping

Code référence : 85B
OBJECTIFS
Il s’agit pour les futurs stagiaires :
- d’acquérir une meilleure connaissance des notions de base associées aux procédés de stripping et aux résultats attendus,
- d’identifier les différents paramètres de fonctionnement des procédés et leur influence sur le produit, sur les traitements ultérieurs.
PUBLIC
La formation est destinée à l’ensemble du personnel scientifique et technique du SPAT, soit environ 30 personnes au total, ingénieurs et techniciens, avec un effectif maximum de 10 personnes par session.
PRÉ-REQUIS
Pas de pré requis spécifique.
CONTENU
1) Introduction
a. Définitions and applications
b. Compatibility and efficiency
c. Lithography aspects and impact for stripping
d. Contamination aspects in stripping
2) Photoresist plasma ashing
a. Generalities on plasma
b. Efficiency in plasma ashing: striprate and overstrip
c. Process parameter influence on striprate
d. Compatibility in plasma ashing
3) FEOL wet cleaning/BEOL wet cleaning/Photoresist wet stripping :
a. Wet processes: general considerations
b. Kinetically vs mass transfer limited reactions
4) FEOL wet cleaning
a. General considerations
b. Caro’s acid
c. RCA clean: SC1/SC2
d. Hydrofluoric acid
e. Ozone-based cleaning
f. Compatibility in FEOL wet cleaning
5) BEOL wet Cleaning
a. General considerations
b. Aluminum BEOL cleaning
c. Copper Damascene BEOL cleaning
d. Compatibility in BEOL wet cleaning
6) Photoresist wet stripping
a. General considerations
b. Wet stripping with inorganic chemicals
c. Wet stripping with organic solvents
MÉTHODE
La formation privilégie l’interactivité entre les participants et le formateur : utilisation fréquente des « boitiers voteurs » pour conclure les différents chapitres clés et refocaliser sur les messages clés.

Session 2018

PRIX PUBLIC

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DURÉE

2 jours (14 heures)

LIEU ET DATE
Grenoble
  • 11-12 décembre 2018
COORDINATION

Responsable(s) pédagogique(s) :

Grenoble
  • Mme Chantal TARDIF
    chantal.tardif@cea.fr
    Tél. +33 4 38 78 93 83
CONTACT

Organisatrice(s) formation :

Grenoble
  • Mme Anne-Sophie BERTIN
    anne-sophie.bertin@cea.fr
    Tél. +33 4 38 78 48 65

Réf. 85B - Stripping process training: Plasma ashing, wet cleaning and wet stripping

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Session 2019

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